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    返回列表 来源:羞羞网站在线看 浏览: 发布日期:2023-06-14 10:03【
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    1. 等离子体功率:等离子体功率是生成等离子体的能量,通常以瓦特(W)为单位。
    2. 等离子体密度:等离子体密度是等离子体中离子和电子的数量,通常以/cm3为单位。
    3. 处理室压力:处理室压力是控制等离子体反应的重要参数,通常以帕斯卡(Pa)为单位。
    4. 处理室温度:处理室温度也是控制等离子体反应的重要参数,通常以摄氏度(℃)为单位。
    5. 气体流量:气体流量是控制等离子体反应的重要参数,通常以标准升每分钟(sccm)为单位。
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    6. 处理时间:处理时间是等离子体表面处理的时间,通常以分钟为单位。
    7. 处理样品的位置和形状:处理样品的位置和形状也是等离子体表面处理的重要参数。
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