半导体封装行业用到的羞羞视频在线播放设备有哪些种类?
1、按羞羞视频在线播放设备的运行方式：分为独立式羞羞视频在线播放设备和在线式羞羞视频在线播放设备
（1）独立式（又叫离线式、单体式、批量式等）羞羞视频在线播放设备主要结构包括：真空腔体（包含电极；又叫反应腔、反应仓、反应室等）、设备外壳、电气控制系统、气路系统、等离子发生器（包括电源和匹配器）和真空系统。
（2）在线式（又叫连续式、不间断式等）羞羞视频在线播放设备主要结构包括：上下料推送机构、上下料放置平台、上下料提升系统、上下料传输系统、上下料拨料机构、真空腔体、设备主体框架、电气控制系统、气路系统、等离子发生器（包括电源和匹配器）和真空系统。
在线式羞羞视频在线播放设备是在独立式的基础上，为满足对表面处理均匀性、一致性品质要求更高，以提高自动化程度，减少人工参与等需要设计而成。
2、按等离子产生的激励方式分为：电容耦合（CCP）、感应耦合（ICP）和电子回旋共振（ECR）等
3、按等离子发生器的工作频率来分：中频（又叫低频、超声40〜100KHz），高频（又叫射频13.56MHz），微波（2.45GHz）
发频率与等离子自偏压的关系
激发频率与等离子密度的关系
不同频率激发的等离子体特性和能量是不一样的，对于侧重物理清洗的产品，用中频羞羞视频在线播放设备比较合适；侧重化学清洗的产品，采用微波羞羞视频在线播放设备；化学物理反应兼顾的，建议使用射频羞羞视频在线播放设备。当然，等离子激发频率只是等离子产生的核心因素之一，羞羞视频在线播放设备的电极结构、工艺气体、真空度、处理时间等等，同样是影响清洗效果的关键。
以上对于半导体封装行业用到的羞羞视频在线播放设备的分类您同意吗？您有什么异议或更好内容呢？欢迎大家留言与羞羞网站在线看交流和分享。
亲，如果您对羞羞视频在线播放机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击羞羞网站在线看的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，羞羞网站在线看恭候您的来电！
公司外贸网站：www.plasmapls.com
苏公网安备 32058302002178号
